破解“气体血液”密码,科瑞色谱护航中国“芯”链安全
在半导体、显示面板、光伏等高端制造领域,电子特种气体被誉为流淌在生产线中的“血液”。其纯度每提升一个量级,都可能推动芯片性能的一次飞跃;而任何微不足道的杂质,都可能导致整批晶圆的报废,造成数百万的损失,成为击穿芯片性能的“最后一根稻草”。
在这个“纯度即生命,数据即信誉”的行业里,分析技术正面临着前所未有的极限挑战:
杂质多样性:从永久气体到碳氢化合物,再到各类卤化物,种类繁多,性质各异。
浓度极限:检测要求已从ppm级跃升至ppb甚至ppt级,对仪器灵敏度提出极致要求。
气体特性复杂:腐蚀性、吸附性、高反应活性气体,对分析系统的惰性化设计构成严峻考验。
样品预处理:这个环节对整个分析系统的影响权重高达95%,是保证数据准确的“咽喉要道”。
严苛的标准:需满足SEMI国际标准及各尖端芯片制造商的苛刻要求。
面对这些行业痛点,科瑞色谱自2002年起便深耕于此,致力于成为电子特气纯度分析的专家,为每一家电子特气企业提供直达半导体产业核心的分析保障。
为电子特气而生的专业GC平台
科瑞色谱深刻理解行业的严苛需求,提供覆盖纯气与混合气的全方位气相色谱(GC)分析解决方案。我们的仪器致力于实现两个核心目标:获得无可辩驳的精准数据与保障分析的绝对稳定与高效。
从在线监控到离线精密检测,我们的解决方案已广泛应用于各类关键场景:
硅源前驱体分析:如DCS、TCS、STC中的痕量杂质分析。
惰性气体分析:如6N超纯氧、超纯氮中的杂质分析。
氮源气体分析:如超纯氨气、电子级笑气中的杂质分析。
刻蚀与掺杂气体分析:如电子级三氯化硼、三氟化磷中的杂质分析。
清洗气体分析:如含氟混配气中的氦、氖分析。
为什么科瑞色谱能成为产业可靠的伙伴?
1.与产业领导者同行:数字见证实力
我们的价值凝练为一串数字:“2002,1000+,0”。
2002:超过20年的技术深耕与市场验证。
1000+:服务企业超千家,涵盖各行业龙头。
0:质量事故零记录。安全、可靠、稳定,是我们对客户的底线承诺。
我们曾通过一次细微的色谱仪进样阀堵塞,成功帮助两家超纯氨生产企业溯源工艺问题,避免不合格产品流入下游芯片巨头,挽回了潜在的重大损失。
2.卓越的分析性能:数据具备法定效力
我们的GS2010-5UPDD在线气相色谱仪,通过了东北国家计量测试中心的严格检测,所有数据均具国家法定效力。关键组分检出限低至0.3ppb,具有接近零的基线噪声与漂移,分析结果的重复性(RSD)优于0.7%。
3.优异的前处理技术:决胜利器在“前端”
再精密的“眼睛”,也无法通过“浑浊的镜片”看清世界。样品预处理系统正是保证分析准确的“镜片”。科瑞提供专业的定制化预处理系统,通过样品条件稳定、自动化控制与多路采样、洁净吹扫与防污染三大核心模块,从根本上保障了分析数据的准确性与代表性,攻克了那“95%的影响权重”难题。
4.专属方法开发与权威背书
科瑞拥有一支高学历、年轻化的应用开发团队。公司技术总监关文顺先生,作为国家高级工程师,同时担任全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/TC203/SC1)委员,确保我们的技术方案始终与国家标准和行业前沿同步。
科瑞色谱秉承“精益求精,一丝不苟、用心服务”的理念,二十余年来,我们不仅提供仪器,更致力于以自主的分析技术智慧,助力电子特气行业的国产化进程,为保障民族工业的供应链安全贡献我们的力量。
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